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瑞研光學小課堂:光學元件表面平面度概念講解

更新時間:2019-06-17

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瑞研光學小課堂:光學元件表面平面度概念講解

 

表面平面度是一種測量表面精度的規(guī)格類型,它用于測量反射鏡、窗口片、棱鏡表面等平面的偏差。

瑞研光學一般使用光學平晶來測量此偏差,如果是鍍膜產品,一般是膜之前要檢測表面精度,光學平晶是一種高質量、高精度的參考平面,是一種標準件,用于比較試樣的平滑度。當所測試的光學產品的平面靠著光學平晶放置時,會出現(xiàn)條紋,其形狀表示所檢測的光學產品的表面平滑度。如果這些條紋間隔相等,并且是平行的直線,那么被檢測的光學表面至少像參考光學平晶一樣平展。如果條紋是彎曲的,則兩個虛線(一個虛線與條紋中點相切,另一個虛線穿過同一個條紋的端點)之間的條紋數(shù)量會指出平滑度錯誤。

平滑度的偏差通常是按波紋值(λ)來測量的,它們是由多個波長的測試源組成。一個條紋對應½的波長。平滑度為1λ,則表示一般的質量級別;平滑度為λ/4,則表示的質量級別;平滑度為λ/20,表示高精度的質量級別。

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